光罩模板(Rantec)

Rantec                                  [寫信洽詢]    Mask種類 Cr Mask Emulsion Glass Film Mask 描畫精度 mode A mode B mode C mode D mode A mode B mode A mode B Maximum size (inch) 10 x 10 12 x 12 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32 28 x 32 最小 LS (um) 0.7 0.8 4 6 10 20 12 30 線幅精度 (um) ±0.1 ±0.2 ±0.5 ±1.0 ±1.0 ±2.0 ±2.0 ±4.0 線幅精度 (3σum) 0.025 0.06 0.12 - - - - - 重疊精度 (3σum) 0.03 0.2 0.4 - - - - - 基板材質 合成石英 合成石英 青板 青板 青板 青板 青板 PET PET 對應可能的 表面處理 Pellicle Pellicle Hard coating Hard coating Hard coating Hard coating Laminate Laminate Hard  coating Laminate Laminate ►回頂端