光罩模板

光罩模板

Rantec

Mask種類	Cr Mask				Emulsion Glass		Film Mask
描畫精度	mode A	mode B	mode C	mode D	mode A	mode B	mode A	mode B
Maximum size (inch)	10 x 10	12 x 12	28 x 32	28 x 32	28 x 32	28 x 32	28 x 32	28 x 32
最小 LS (um)	0.7	0.8	4	6	10	20	12	30
線幅精度 (um)	±0.1	±0.2	±0.5	±1.0	±1.0	±2.0	±2.0	±4.0
線幅精度 (3σum)	0.025	0.06	0.12	-	-	-	-	-
重疊精度 (3σum)	0.03	0.2	0.4	-	-	-	-	-
基板材質	合成石英	合成石英青板	青板	青板	青板	青板	PET	PET
對應可能的表面處理	Pellicle	Pellicle	Hard coating	Hard coating	Hard coating	Hard coating	Laminate	Laminate
對應可能的表面處理	Pellicle	Hard coating	Hard coating	Hard coating	Laminate	Laminate	Laminate	Laminate